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折叠滤芯9-9
折叠滤芯10-10
折叠滤芯37-37

SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯

SPPL 系列 CMP 浆液过滤聚丙烯折叠滤芯在微电子器件的化学机械抛光中,始终为需要抛光的工件提供均匀的抛光浆料,以优化晶片的整体平面化,提高晶片质量。独特的熔喷材料形成等级分布颗粒物的效果,尤其适合氧化铝和氧化硅抛光浆料的过滤。

该滤芯材料在空间形成三维微孔结构,微孔孔径沿滤液方向呈梯度分布,可以截留不同粒径,孔径范围完全匹配 CMP氧化物抛光浆料和金属物抛光浆料的粒径,不仅提高了过滤效率,而且解决了滤芯易阻塞的问题,延长了滤芯的使用寿命。

特征

沿滤液方向的梯度孔径分布,保证抛光浆料的品质,并延长浆料的使用寿命。

所有滤芯兼容性极佳,无论是酸性还是碱性浆料,均可过滤。

漏斗状的过滤结构,对可能造成晶片表面伤害的团状颗粒敏感。

CMP流程提供严格的质量保证。

去除浆料中的大粒径离子及成团的异质颗粒,提高晶片的成品率。

过滤面积大,高过滤效率。

热熔法密封结构,密封性良好。

辉龙过滤的全面质量管理体系保证滤芯品质。

滤芯沿滤液方向的梯度孔径分布结构,适合各种不同的抛光浆料,应用范围广。

通用性好,适合各种标准或者类似的压力容器过滤器。


过滤介质:熔喷聚丙烯超细纤维膜

上下游支撑层:聚丙烯

内外骨架:聚丙烯

端盖、接口、尾翅:聚丙烯

0形环:三元乙丙橡胶,氟橡胶,可熔性聚四氟乙烯/氟橡胶。

在流体中操作条件建议:

聚丙烯骨架滤芯推荐

最高耐受温度:176°F(80°℃)

最高工作温度:140°F(60)

最高耐受压差:58psi (4bar) @68°F (20°℃)

29psi (2.0bar) @150°F (60°℃)

推荐更换压差:29 psid (2.0 bar)

长度因子

 (inch)

长度因子

10

1.0

20

2.0

30

3.0

40

4.0

50

5.0

 

BPPL 流量(psid/gpm @ 1 cst)

孔径 (µm)

流量因子

0.1

2.200

0.2

1.600

0.45

0.900

1

0.770

3

0.300

5

0.120

10

0.020

20

0.020

50

0.010

75

0.008

100

0.006

 

 

 

 

直径:2.7 英寸(69mm)

长度:4-30 英寸(102-765mm)

有效过滤面积(10“滤芯):

最小 6.5 ft2(0.6m2)

 

 

氧化物抛光浆料:

电子产品

食品&饮料

金属浆料

化学品

医药

感光材料

水处理

餐饮污水

PP聚丙烯微孔折叠滤芯系列