SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯

SPPL 系列 CMP 浆液过滤聚丙烯折叠滤芯在微电子器件的化学机械抛光中,始终为需要抛光的工件提供均匀的抛光浆料，以优化晶片的整体平面化，提高晶片质量。独特的熔喷材料形成等级分布颗粒物的效果，尤其适合氧化铝和氧化硅抛光浆料的过滤。

该滤芯材料在空间形成三维微孔结构，微孔孔径沿滤液方向呈梯度分布，可以截留不同粒径，孔径范围完全匹配 CMP氧化物抛光浆料和金属物抛光浆料的粒径，不仅提高了过滤效率，而且解决了滤芯易阻塞的问题，延长了滤芯的使用寿命。

特征

沿滤液方向的梯度孔径分布，保证抛光浆料的品质，并延长浆料的使用寿命。

所有滤芯兼容性极佳，无论是酸性还是碱性浆料，均可过滤。

漏斗状的过滤结构，对可能造成晶片表面伤害的团状颗粒敏感。

为CMP流程提供严格的质量保证。

去除浆料中的大粒径离子及成团的异质颗粒，提高晶片的成品率。

过滤面积大，高过滤效率。

热熔法密封结构，密封性良好。

辉龙过滤的全面质量管理体系保证滤芯品质。

滤芯沿滤液方向的梯度孔径分布结构，适合各种不同的抛光浆料，应用范围广。

通用性好，适合各种标准或者类似的压力容器过滤器。